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ETG半導体製造装置技術作業部会（Semi TWG）は半導体製造装置向けにその特別な要件に適合したデバイスプロファイル、実装ガイドラインおよびデバイスのコンフォーマンステストの仕様策定を担当しています。

会議への参加登録は、できるだけ早くオンラインで行ってください。ラム・リサーチ社の協力により、参加費は無料です。各タスクグループの連絡リストに追加されるには、別途タスクグループへの登録が必要です。