ST-500

• 対象流体:気体
• 最大流量:気体 10SCCM～100SLM
• 精度:±1%S.P.(10～100%F.S.) ±0.1%F.S.(2～10%F.S.)
• PI … Pressure Insensitive
• 圧力変動に対し安定した流量制御が可能
• ダイヤフラム式バルブ採用のメタルシールMFCで、EP処理及び酸化被膜処理により腐蝕性流体に対応
• ガスパネルマウント、Wシール/Cシール継手対応
• S.P.精度で高精度な計測制御が可能、全流量制御範囲 応答1sec以内
• 専用アプリによるマルチレンジ機能(30~100%F.S.)