elektroJOURNAL: Mr. Sulu: Energie auf die Phaser! EtherCAT sorgt für höchste Präzision bei Lithographieanlage

Die Kleo Halbleitertechnik produziert Lithographieanlagen zur Fertigung von Masken für die Herstellung von LCD-Bildschirmen. Mit blauem Laserlicht erzeugt die Anlage kleinste Strukturen. Die Automatisierung der hochpräzisen Prozesse übernahm die Artec Engineering unter Verwendung von Beckhoff-Steuerungstechnik.

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members-no elektroJOURNAL: Mr. Sulu: Energie auf die Phaser! EtherCAT sorgt für höchste Präzision bei Lithographieanlage DE PDF 2008/05/01 0,86 MB